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  • 5. ??????? ? ???????? ????? ???? ??? – ????? – ?????? – ??? ?? ? ?? – ???? : ???? ? ???? ? PM : preventive maintenance ? ????????? : ???????? ?? PM ? ????? ???? ??
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  • 8. ??????? 5??? Process Module ?? ?? Wafer Loading Unit (EFEM) Wafer Transfer Unit Power & Control Unit Vacuum & Scrubber Unit ? ATM Robot ? Wafer Aligner ? EFEM Unit ? Transfer Chamber ? Vacuum Robot ? Main Power Box ? Remote Control Rack ? Vacuum Pump ? Scrubber Transfer Module Docking EFEM Docking Power ?? & Control Vacuum ?? & Gas ??
  • 9. ??????? 5??? Power & Control Unit Vacuum & Scrubber Unit ? Main Power Box ? Remote Control Rack ? Vacuum Pump ? Scrubber ? ?????????
  • 10. ??????? 5??? 3rd Floor (Line) 2nd Floor (Sub FAB) Basement (Plenum) Main Power Box Control Rack Scrubber Main ?? Pump ? ??? ??
  • 11. ??????? 5??? Gas ?? ?? GN2 ?? ?? ?? ?? ?? Air ?? ?? ???(PCW) ?? ?? ?? Gas ?? ?? ? ???? ??
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  • 16. ????? ?? Furnace / RTP / IMPLANT ? ? Diffusion ? ? ? ? ? ? "??"?? ? ??? ?? ?? ?? ??? ????? ?? ???. ?? ??? ??? ????? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ? ? ??. ??? ??? ????? ?? ? ???? ??? ???, ??? ? ??? ??? ??,?? ??? ?? ??? ???? ???? ??. ??? ??? ??? ????? ? ?? Furnace??. ???? ???? ????? ?? ???????? ???? ??? ?? ???? ???? ???? ? ? ?? ??? ?? ??? (Horizontal)? ??? (Vertical)? ? ??? ??. ??????. ???????? ???? ???? ??? ??? ?? ???? ???? ??? ? ?? ????? ??. ????? ??? ?? High Current / High Energy Implanter ? Medium Implanter? ??.
  • 17. ????? ?? ? ? ? ? ? ? AP/ LP/ PE-CVD ?????? (CVD) / CMP Sputter / TI, Al ? ? (Thin Film) CMP? Polishing??? ?? Wafer ? ???(Pod) ???? ?? ?? ?? ???? ???(Slurry)? ?? ?? Wafer??? ????? ?? ???? Patten? Carrier? ??? ? ?? ????? Wafer??? ? ???? ??? ??? ??. CVD? Chemical Vapor Deposition ? ???? ???? ?? ? ?? ?? ??? ?????, ??? ? ?? ?? ????. AP, LP, PE?? ????? ??? ? ??? ?? ????? AP? ???(Atmospheric Pressure) LP? ?? (Low Pressure) PE? ????(Plasma Enhanced) ? ????. PVD? ??????? ??? ?? ??(AL)??? ??? ??? ?? ??? Sputter?? ???? ?? ???? ???? ????? ?? ??? ??.
  • 18. ????? ?? ? ? ? ? ? ? Coater/Stepper/Align/ Developer ? ? (Photo) ???. ??? ????? ??? ???? ????? ? ? ???? ??? ????? ??? ???? ?? ? ????? ???? ?? ??. ?????? ???. ???(UV?)? ???? ????? ????? ???? ??? ??? ??? ????? ??. ???(PR:Photo Resist) ????. ??? ??? ???? ??? ????? ??. ???. ?? ???? ??? ?? ???? ????? ????? ??.
  • 19. ????? ?? ? ? ? ? ? ? Etcher / Stripper / Wet sink ? ? (Etch) ????? ?? ? ???? ???? ????? ??. ??? ?? ??? ???? ??? ??? ????? ???? ??. Chemical??? : Wet Etch?? Gas? ??? : Dry Etch?? ????. ? ?? ??? ?? ???? ?? ? ??? ??. ????? Wafer??? ??? ??? ???? ??? ?? ??? ? ??(Photoresist)? ?? ????, ???? ?? ?? ?, ????? ? ?? ??? ????? ???? ?
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