ݺߣ

ݺߣShare a Scribd company logo
EUV LABS:
                                          Создание источников
                             экстремального ультрафиолетового
                                        излучения (13,5 нм) для
                                               нанолитографии




                                Presentation for Grant Committee
Встреча участников Кластера ЯТ Фонда «Сколково», 29 Мая 2012
                      Город, Июнь 4, 2012
Описание проекта и текущей стадии его реализации

!   Цель проекта:
Проект направлен на решение основных проблем препятствующих организации
 коммерчески выгодного производства (HVM) на основе технологии EUV литографии. В
 ходе реализации проекта будут проведены исследования и показана возможность
 технической реализации новых решений для HVM-литографии, разрабатываемых
 проектной командой по тематикам связанным с переходом к разрешениям 22 и менее
 нанометров, с оптической нанодиагностикой, инспекцией, очисткой и защитой
 многослойной EUV-оптики в нанолитографических машинах.
!   Рынок:
  EUV – является передовой технологией, расцвет которой предполагается в 2015-2020 гг.
  (использование диапазона 11-22 нм), при этом уже к 2016 году доля этой технологии на
  рынке составит более 65%. Следующим шагом после освоения технологии EUV
  является переход к новому поколению источников – BEUV. Запуск производства машин с
  BEUV источниками ожидается через 10 лет.
!   Стадия проекта: Посевная (Этап 1)
!   Потребность в инвестициях:
Инвестиции соинвестора – 9,8 млн. руб.
Финансирование Фондом – 39,1 млн. руб.
1-ый этап: январь – июнь.2012 / 2-ой этап: июль – декабрь.2012


04.06.12                                                                             2
Задачи проекта на период гранта

 НА	
 ВХОДЕ:	
                      Результат	
 через	
 1	
 год:	
 
 Технология:                           Технология:
 !  Продемонстрированы принципы        !   Изготовлена и протестирована
 будущего источника                        установка Jet-Demo на 32КВт
 !  Продемонстрирована возможность     !   Проведены полные испытания
 создания систем перекачки жидкого         установки Jet-Demo, измерены
 металла                                   характеристики разрушающего
 !  Смоделирован рабочий источник с        корпускулярного излучения
 мощностью до 8 КВт                    !   Подготовлено ТЗ для апгрейда до 64КВт
 Бизнес:                               Бизнес:
 Финансирование заказчиком =>          !   Наработано и зарегистрировано
 !  IP-Sharing                             собственное IP по ключевым темам
 !  Отсутствие фокуса разработок       !   Усилия и ресурсы сфокусированы на
 !  Образ: ключевое физ.лицо +             ключевых разработках
 лаборатория в учреждении РАН          !   Образ: компания с понятным вектором
 !  Непостоянство заказов =>               развития, обеспеченная необходимыми
                                           компетенциями и ресурсами
 разрозненная команда
                                       !   Смотивированная и локализованная
                                           команда
04.06.12                                                                         3
Взаимодействие с Фондом «Сколково»:
         оценка положительных и отрицательных сторон

!   Заявка на Статус участника (04/2011): процедура понятна, анкеты корректно
    сформулированы, взаимодействие максимально упрощено и автоматизировано

!   Заявка на грант (12/2011):
    !   + Четкое согласование с кластером in/out проекта, бизнес-модели
    !   + Инвест-меморандум: полезный документ, корректно структурирован
    !   - Смета: требования по детализации и подтверждению несколько избыточны
    !   - Требования по подготовке английской версии – сильно усложняют и затягивают
    !   - Вопросы и комментарии экспертизы вполне вероятны в последний момент

!   Требования к льготам, услугам и сервисам, предоставляемым Центром "Сколково" своим
    участникам:
      !   - Не работают льготы и нет логистики, работает только таможенное сопровождение
      !   - Не хватает упрощённого режима для экспортных процедур (вывоз опытных
          образцов затягивает и удорожает, как разработку так и взаимодействие с заказчиком)
      !   + Узкоспециализированные семинары (например по лицензированию ИС от KPMG)
      !   + Более общее обучение/коучинг/стажировки
      !   ? Кадровый центр (head-hunting’вая служба/кадровый резерв)
!   Вопросы коммерциализации разработки:
     !   Потенциальные покупатели: программы стимулирования спроса?
     !   Инжиниринг производства инновационного продукта: недостаток инфраструктуры,
04.06.12 компетенций                                                                       4

More Related Content

What's hot (7)

Презентация проекта
Презентация проектаПрезентация проекта
Презентация проекта
kulibin
4 плазмохимические технологии
4 плазмохимические технологии4 плазмохимические технологии
4 плазмохимические технологии
Михаил Кирюхин
Федір Ружинський “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...
Федір Ружинський  “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...Федір Ружинський  “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...
Федір Ружинський “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...
Lviv Startup Club
Отчет фонда "Сколково" попечительскому совету
Отчет фонда "Сколково" попечительскому советуОтчет фонда "Сколково" попечительскому совету
Отчет фонда "Сколково" попечительскому совету
skolkovo_presentations
Презентация ООО "НГКТ"
Презентация ООО "НГКТ"Презентация ООО "НГКТ"
Презентация ООО "НГКТ"
eamalyavko
Государственно-частное партнерство: серийное создание стартапов
Государственно-частное партнерство: серийное создание стартаповГосударственно-частное партнерство: серийное создание стартапов
Государственно-частное партнерство: серийное создание стартапов
Sergey Lourie
Наноцентры ФИОП Роснано
Наноцентры ФИОП РоснаноНаноцентры ФИОП Роснано
Наноцентры ФИОП Роснано
Alexey Gostomelsky
Презентация проекта
Презентация проектаПрезентация проекта
Презентация проекта
kulibin
4 плазмохимические технологии
4 плазмохимические технологии4 плазмохимические технологии
4 плазмохимические технологии
Михаил Кирюхин
Федір Ружинський “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...
Федір Ружинський  “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...Федір Ружинський  “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...
Федір Ружинський “Інженерні практики: погляд менеджера. Що? Як? Навіщо?” Kha...
Lviv Startup Club
Отчет фонда "Сколково" попечительскому совету
Отчет фонда "Сколково" попечительскому советуОтчет фонда "Сколково" попечительскому совету
Отчет фонда "Сколково" попечительскому совету
skolkovo_presentations
Презентация ООО "НГКТ"
Презентация ООО "НГКТ"Презентация ООО "НГКТ"
Презентация ООО "НГКТ"
eamalyavko
Государственно-частное партнерство: серийное создание стартапов
Государственно-частное партнерство: серийное создание стартаповГосударственно-частное партнерство: серийное создание стартапов
Государственно-частное партнерство: серийное создание стартапов
Sergey Lourie
Наноцентры ФИОП Роснано
Наноцентры ФИОП РоснаноНаноцентры ФИОП Роснано
Наноцентры ФИОП Роснано
Alexey Gostomelsky

Viewers also liked (16)

History Lesson: Dry Cleaning
History Lesson: Dry CleaningHistory Lesson: Dry Cleaning
History Lesson: Dry Cleaning
CleanTie.com
Advertising Your Dry Cleaners-Laundry Shop via Cleantie.com's Twitter
Advertising Your Dry Cleaners-Laundry Shop via Cleantie.com's Twitter Advertising Your Dry Cleaners-Laundry Shop via Cleantie.com's Twitter
Advertising Your Dry Cleaners-Laundry Shop via Cleantie.com's Twitter
CleanTie.com
AlgoritmosAlgoritmos
Algoritmos
Sonia Fernanda Idrobo Idrobo
Dry Cleaners & Laundromats in Pop Culture
Dry Cleaners & Laundromats in Pop CultureDry Cleaners & Laundromats in Pop Culture
Dry Cleaners & Laundromats in Pop Culture
CleanTie.com
El parque del jardinEl parque del jardin
El parque del jardin
jinbde20blog
Primeros auxilios en el deportePrimeros auxilios en el deporte
Primeros auxilios en el deporte
Ivan Bustos
Martha septiningtyas second language acqusition
Martha septiningtyas second language acqusition Martha septiningtyas second language acqusition
Martha septiningtyas second language acqusition
Martha Septiningtyas II
Journal reading acute bacterial rhinosinusitis
Journal reading acute bacterial rhinosinusitisJournal reading acute bacterial rhinosinusitis
Journal reading acute bacterial rhinosinusitis
Gandung Prakoso

Similar to 6 эуф (20)

Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектовЦентр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Skolkovo Mobiletech
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектовЦентр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Vasily Ryzhonkov
Проект внедрения КИС
Проект внедрения КИСПроект внедрения КИС
Проект внедрения КИС
Sergey Timofeev
Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011
Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011
Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011
Dmitry Tseitlin
Б.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровождения
Б.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровожденияБ.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровождения
Б.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровождения
Anatoly Levenchuk
Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления
 Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления
Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления
Albert Yefimov
RST2014_Voronezh_EngineeringTools
RST2014_Voronezh_EngineeringToolsRST2014_Voronezh_EngineeringTools
RST2014_Voronezh_EngineeringTools
RussianStartupTour
эволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile) башакин
эволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile)   башакинэволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile)   башакин
эволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile) башакин
WRider
Первые участники Инновационного центра «Сколково»
Первые участники Инновационного центра «Сколково»Первые участники Инновационного центра «Сколково»
Первые участники Инновационного центра «Сколково»
igorod
брошюра сколково кластер ит
брошюра сколково кластер итброшюра сколково кластер ит
брошюра сколково кластер ит
The Skolkovo Foundation
Анонс семинара 27 марта
Анонс семинара 27 мартаАнонс семинара 27 марта
Анонс семинара 27 марта
Alexey Zotov
гостомельский госдума в.12
гостомельский госдума в.12гостомельский госдума в.12
гостомельский госдума в.12
Alexey Gostomelsky
MicroModel LLC
MicroModel LLCMicroModel LLC
MicroModel LLC
Pavel Markov
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектовЦентр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Skolkovo Mobiletech
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектовЦентр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Центр мобильных технологий Сколково - программа для проектов
Vasily Ryzhonkov
Проект внедрения КИС
Проект внедрения КИСПроект внедрения КИС
Проект внедрения КИС
Sergey Timofeev
Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011
Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011
Отчет Фонд Сколково 25 апреля 2011
Dmitry Tseitlin
Б.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровождения
Б.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровожденияБ.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровождения
Б.Позин, Е.Горбунова -- развитие ядра Essence для стадии сопровождения
Anatoly Levenchuk
Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления
 Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления
Презентация Сколково на конференции Перспективные системы и задачи упралвления
Albert Yefimov
эволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile) башакин
эволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile)   башакинэволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile)   башакин
эволюция методологий управления (водопад, Rup, Agile) башакин
WRider
Первые участники Инновационного центра «Сколково»
Первые участники Инновационного центра «Сколково»Первые участники Инновационного центра «Сколково»
Первые участники Инновационного центра «Сколково»
igorod
брошюра сколково кластер ит
брошюра сколково кластер итброшюра сколково кластер ит
брошюра сколково кластер ит
The Skolkovo Foundation
Анонс семинара 27 марта
Анонс семинара 27 мартаАнонс семинара 27 марта
Анонс семинара 27 марта
Alexey Zotov
гостомельский госдума в.12
гостомельский госдума в.12гостомельский госдума в.12
гостомельский госдума в.12
Alexey Gostomelsky

6 эуф

  • 1. EUV LABS: Создание источников экстремального ультрафиолетового излучения (13,5 нм) для нанолитографии Presentation for Grant Committee Встреча участников Кластера ЯТ Фонда «Сколково», 29 Мая 2012 Город, Июнь 4, 2012
  • 2. Описание проекта и текущей стадии его реализации !   Цель проекта: Проект направлен на решение основных проблем препятствующих организации коммерчески выгодного производства (HVM) на основе технологии EUV литографии. В ходе реализации проекта будут проведены исследования и показана возможность технической реализации новых решений для HVM-литографии, разрабатываемых проектной командой по тематикам связанным с переходом к разрешениям 22 и менее нанометров, с оптической нанодиагностикой, инспекцией, очисткой и защитой многослойной EUV-оптики в нанолитографических машинах. !   Рынок: EUV – является передовой технологией, расцвет которой предполагается в 2015-2020 гг. (использование диапазона 11-22 нм), при этом уже к 2016 году доля этой технологии на рынке составит более 65%. Следующим шагом после освоения технологии EUV является переход к новому поколению источников – BEUV. Запуск производства машин с BEUV источниками ожидается через 10 лет. !   Стадия проекта: Посевная (Этап 1) !   Потребность в инвестициях: Инвестиции соинвестора – 9,8 млн. руб. Финансирование Фондом – 39,1 млн. руб. 1-ый этап: январь – июнь.2012 / 2-ой этап: июль – декабрь.2012 04.06.12 2
  • 3. Задачи проекта на период гранта НА ВХОДЕ: Результат через 1 год: Технология: Технология: !  Продемонстрированы принципы !   Изготовлена и протестирована будущего источника установка Jet-Demo на 32КВт !  Продемонстрирована возможность !   Проведены полные испытания создания систем перекачки жидкого установки Jet-Demo, измерены металла характеристики разрушающего !  Смоделирован рабочий источник с корпускулярного излучения мощностью до 8 КВт !   Подготовлено ТЗ для апгрейда до 64КВт Бизнес: Бизнес: Финансирование заказчиком => !   Наработано и зарегистрировано !  IP-Sharing собственное IP по ключевым темам !  Отсутствие фокуса разработок !   Усилия и ресурсы сфокусированы на !  Образ: ключевое физ.лицо + ключевых разработках лаборатория в учреждении РАН !   Образ: компания с понятным вектором !  Непостоянство заказов => развития, обеспеченная необходимыми компетенциями и ресурсами разрозненная команда !   Смотивированная и локализованная команда 04.06.12 3
  • 4. Взаимодействие с Фондом «Сколково»: оценка положительных и отрицательных сторон !   Заявка на Статус участника (04/2011): процедура понятна, анкеты корректно сформулированы, взаимодействие максимально упрощено и автоматизировано !   Заявка на грант (12/2011): !   + Четкое согласование с кластером in/out проекта, бизнес-модели !   + Инвест-меморандум: полезный документ, корректно структурирован !   - Смета: требования по детализации и подтверждению несколько избыточны !   - Требования по подготовке английской версии – сильно усложняют и затягивают !   - Вопросы и комментарии экспертизы вполне вероятны в последний момент !   Требования к льготам, услугам и сервисам, предоставляемым Центром "Сколково" своим участникам: !   - Не работают льготы и нет логистики, работает только таможенное сопровождение !   - Не хватает упрощённого режима для экспортных процедур (вывоз опытных образцов затягивает и удорожает, как разработку так и взаимодействие с заказчиком) !   + Узкоспециализированные семинары (например по лицензированию ИС от KPMG) !   + Более общее обучение/коучинг/стажировки !   ? Кадровый центр (head-hunting’вая служба/кадровый резерв) !   Вопросы коммерциализации разработки: !   Потенциальные покупатели: программы стимулирования спроса? !   Инжиниринг производства инновационного продукта: недостаток инфраструктуры, 04.06.12 компетенций 4