N0830 2 1345_akutsu
- 8. 連携の提案 ?結晶量産手法の共同開発 特許番号 特許5926432 発明の名称 単結晶製造装置および単結晶製造方法 キーワード 高周波印加 ローレンツ力による溶融帯維持 出願日 2015年10月1日 登録日 2016年4月28日 技術分野 赤外線を用いて原料を溶融させることにより単結晶を製造する装置および方法。 解決しようと する課題 良質な単結晶を効率良く製造可能な技術を提案。 発明の要点 （請求項１） ①溶融帯域を冷却することにより単結晶を製造する単結晶製造装置 ②赤外線照射によって溶融帯域を形成する加熱部と、溶融帯域の周囲に配され、溶融 帯域を非接触で支える誘導コイルを備える。 ③誘導コイルの径は、天地方向の天の方向から地の方向にかけて小さくなるように構 成される。 関連出願 備考 代表図 特許公開番号 特開2018-070410 発明の名称 単結晶製造装置および単結晶製造方法 キーワード 自動制御 機械学習 出願日 2016年10月28日 登録日 技術分野 単結晶製造装置および単結晶製造方法に関する。 解決しようと する課題 溶融帯域の状態を容易かつ確実に維持する制御機構を持ち、高純度で均質な単結晶を 製造することができる単結晶製造装置および単結晶製造方法を提供。 発明の要点 （請求項１） ①赤外線により原料を加熱して形成された溶融帯域を冷却することにより単結晶を製 造する単結晶製造装置。 ②溶融帯域の撮像画像から溶融帯域の形状を認識し、溶融帯域の形状が所定形状状態 から外れないようにプロセスを制御する。 関連出願 備考 代表図 結晶製造システムAKT-AP/AFZ-2000による 電子デバイス用結晶材料量産技術の共同開発 ?自動制御開発 ?大口径化開発 その他
- 9. 保有特許 特許番号 発明の名称 1 第5767299号 単結晶製造装置および単結晶製造方法 2 第5926432号 単結晶製造装置および単結晶製造方法 3 第6006191号 単結晶製造装置および単結晶製造方法 4 第6106815号 単結晶製造装置および単結晶製造方法 5 第6122193号 単結晶製造装置および単結晶製造方法 6 第6343093号 単結晶製造装置および単結晶製造方法 7 US9,970,124B2 SINGLE CRYSTAL PRODUCTION APPARATUS AND SINGLE CRYSTAL PRODUCTION METHOD その他出願中多数