2. NANOFABRICATION
Nanofabrication terbahagi kepada dua iaitu top
dowm dan bottom up.
Contoh top down adalah optical, x-ray, EUV,
Ebeam,SPM,imprinting,etc.
Contoh bottom up adalah Self-assembly, Langmuir-
Blodgett, etc.
4. 1. Pemindahan Corak (litografi)
Menambah satu bahan yang sensitif kepada cahaya yang
dipangil photoresist kepada permukaan bahan substrat
Meletakan photomask selari dengan bahan substrat
Pengunaan photomask adalah untuk menentukan bahagian-
bahagian terkena pancaran UV atau tidak
-Diperbuat daripada kaca atau kuarza dengan corak krom
- Walaupun topeng perlu dibuat dengan litografi
Dengan itu bahagian yang terkena sinaran UV akan
membentuk
Terdapat dua jenis photoresists
-positive resists
-negative resists
5. 2. Pemendapan (atau
pertumbuhan filem)
Dilakukan dalam keadaan vacum
Menggunakan suhu yang tinggi untuk mencairkan
logam
Berlaku proses penyejatan logam
Bahan akan menjadi mendakan
Terdapat dua jenis mendakan wap kimia
-Mendakan kimia bertekanan tinggi
-Mendakan kimia bertekanan rendah
6. 3. Pengasingan (atau penyingkiran
bahan)
Penggunaan bahan cecair yang bertindakbalas dengan
bahan substrat(tujuan):
-Untuk membasahkan corak bahan amorfus bagi
menghasilkan bentuk isotropi
-Isotropi akan besar jika dalam
Penyingkiran ion aktif
Mendakan kimia bertekanan tinggi(ciri-cirinya)
Mendakan kimia bertekanan rendah(ciri-cirinya)
7. KAEDAH-KAEDAH BOTTOM-UP
Kimia pertumbuhan wap: pertumbuhan wap pepejal-
cecair
Bertindak balas sendiri (kimia klorida)
8. 1. Kimia pertumbuhan wap:
pertumbuhan wap pepejal-cecair
Kaedah perkembangan wap-cecair pepejal
-Penggunaan pemangkin diperlukan untuk berlakunya
tindak balas
-Pemangkin membentuk titisan cecair yang bertindak
sebagai tapak penukleusan untuk berlakunya tindak
balas perkembangan
-pemangkin dijual dalam bentuk tepu
9. 2. Bertindak balas sendiri (kimia
klorida)
Berlaku pemanasan sendiri kerana bertindak balas
dengan ion lain.
Hasil daripada tindak balas terhasilah substrak
Klorida: merujuk kepada keadaan Pecah Sempadan
dalam satu-satu larutan.
Contoh bahan-bahan yang biasanya berlaku koloid:-
- Krim putar
- Susu
- Kabus
- Asap
10. SIAPAKAH ANTARA ORANG YANG
TERAWAL YANG MENKAJI TENTANG
NANOFABRICATION
Byron D. Gates
Declan Ryan
Qiaobing Xu
Michael D. Stewart
C. Grant Willson
