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クリーンルーム清扫

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crane techno consultant
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クリーンルーム清扫 目的：クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内 の清浄度の維持に務める。

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1 クリーンルーム清扫管理 目的：クリーンルームの清掃についてのルールを決め、クリーンルー ム内 の清浄度の維持に務める。 作成：クレイン テクノ コンサルティング 作成日：２０１３年８月２０日 URL： http://crane-techno.com/
2 目次： １．ＣＲ静電床の清掃 ???????P2,3 ２．ＣＲ天井の清掃 ???????P4 ３．ＣＲ壁の清掃 ???????P5 ４．ＣＲ設備?治工具の清掃 ???????P6,7,8 ５．ＣＲ清浄装置の清掃 ????????P9,10 ６．ＣＲ清掃用具の管理 ???????P１１ ７．ＣＲ清掃人員?教育 ???????P12 ８．各清掃方法の効果 ???????P13 ９．クリーンルーム清扫方法 ???????P14
3 １．ＣＲ静電床の清掃 １－１：日常清掃（頻度：毎日） ①初めにCR専用真空掃除機で床に堆積したダストを吸引する、 その際、掃除は一方向で行いダストを飛散させない。 ②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用） 専用拭き取り用具を純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭く 良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。 純水 CR用ワイパー 目的： ダストを吸引 目的： 汚れを拭き取る 目的： ダストを吸引 一方向拭きは一番効果的な清掃方法
4 １－２：定期清掃（頻度：毎週） ①初めにCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水＋洗浄液使用） ②次にCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用） 拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。 純水 CR用ワイパー ①拭き取り用具を清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って から清掃面を拭く CR用ワイパー純水+洗浄液 ポリシャーを使用した方が汚れが 綺麗に取れる 目的： 汚れを拭き取る 目的： 汚れを拭き取る 目的： 汚れを拭き取る 水拭きは良く絞ってから拭く
5 ２．CR天井の清掃 ２－１：定期清掃（頻度：毎月） ①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用） 純水 天井 脚立等を使用して安全に注意して清掃のこと
6 ３．ＣＲ壁の清掃 ３－１：定期清掃（頻度：毎月） ①CR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用） 純水 上から下へ拭く。 上から下へ拭く
7 ４．ＣＲ設備?治工具の清掃 ４－１：日常清掃（頻度：毎日） ①設備?治工具の外、内側のダストを両面テープ、掃除機で除去する。 ②専用ワイパーにて両面テープが清掃できない箇所の一方向拭き清掃を実施。 （特に角部、内部） ③各設備毎の設備清掃作業手順書に場所、方法を詳細に記載し、実施。 設備の外側 両面テープ清掃 設備の内側、角部 両面テープ清掃 水拭きは良く絞ってから拭く
8 ４－２：定期清掃（頻度：毎月） ①ＣＲ専用ワイパー清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って から設備?治工具 の外、内側を一方向拭きを行う。 ②次に専用ワイパーを純水に浸し良く絞ってから清掃面を拭き洗剤成分を取り除く 良く絞らないと水分が残り、滑りやすくなる。 。 設備の外?内側 清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）による清掃 設備の外?内側 純水による清掃 （純水＋洗浄液使用） （純水使用） 角部はゴミが残りやすので要注意
9 ４－２：定期清掃（頻度：毎月） ①設備天井及ダクト管の上部をCR専用ワイパーによる一方向水拭きを実施（純水使用） 純水 ダクト上設備天井 水拭きは良く絞ってから拭く
10 ５．ＣＲ清浄装置の清掃 ５－１：定期清掃（頻度：毎日） ①エアーシャワー内部（下部）のダストを掃除機で除去する。 ②エアーシャワー内部（下部、壁）を一方向水拭き清掃する。 （特に角部） エアーシャワー内部 水拭きは良く絞ってから拭く エアーシャワー内部
11 ５－２：定期清掃（頻度：毎月） ①エアーシャワー下部、壁部の取り付け板を外し堆積しているダストを掃除 機で除去する。 ②次に一方向水拭き清掃する。 （特に角部） エアーシャワー下部 （取り付け板を外した状態） 水拭きは良く絞ってから拭く エアーシャワー壁部 （取り付け板を外した状態）
12 ６．清掃用具のクリーニング管理 ＯＫ限度 ＮＧ限度 １）掃除機： 使用後、吸い込み口を純水に浸した清掃用具で清掃。 （目的：使用後、吸い込み口に付着したダストを取り除く） ２）ワイパー： 限度基準以上になったら交換ＯＫ限度/NG限度サンプルにて判定 ３）両面ローラー：汚れが限度基準以上になったら交換 ４）粘着マット：汚れが限度基準以上になったら交換 クリーニング用具によるCR汚染がないように置き場所もCR外とする事
13 ７．ＣＲ清掃教育＆清掃資格 1) 新人教育としＣＲ内清掃についての意義、方法を 教育する。 2)ＣＲ内清掃教育実施後、実際に工程にて実技教育 を行う。 ３）最後に各人の清掃方法を確認し、評価を行う。 CR清掃の意義と方法を新人に教育すること
14 ８．各清掃方法の効果 一方向水拭きが一番効果あり
15 ９．クリーンルーム清扫方法 クリーンルーム室内の清掃方法及び清掃頻度 日本空気清浄協会?指針 毎日 毎週 毎月 クラス３ クラス４ 上記以外 B清掃 A清掃 1回/日 クラス３ クラス４ 上記以外 1回/2ヶ月 清掃方法A: 清掃方法B: ①次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。 ①拭き取り用具を清掃用水溶液（専用洗剤＋純水）浸し、絞って 　から清掃面を拭く。 純水 拭き取り用具 専用洗剤＋純水 拭き取り用具 ③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。 ②次に別の拭き取り用具を純水に浸し、よく絞ってから清掃面を拭く。 純水 拭き取り用具 ③上記作業を汚れが取れるまで繰り返す。 1回/日 天井 B清掃 1回/月 床 B清掃 A清掃 部屋の位置 レベル ふき取り方法とその頻度 真空掃除 一方向水拭きがBEST

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