![(19) BY (11) 7034
(13) U
(46) 2011.02.28
(51) (2009)
B 32B 37/10
弌
丐丐丕
(12)
弌丕 丕弌亂
丶亂乘 丶丐
丐丐丕亂
弌弌丐弌丐
(54) 丕弌丐弌丐 亊 弌丐亊 弌丐
(21) 仂仄亠 亰舒磦从亳: u 20100635
(22) 2010.07.14
(71) 舒磦亳亠仍: 亠仍仂从亳亶 亞仂亟舒-
于亠仆仆亶 仆亳于亠亳亠 (BY)
(72) 于仂: 仂仄舒仂于 个舒亟亠亶 个舒亟亠亠于亳;
亳仍从仂 仍舒亟亳仄亳 仍舒亟亳仄亳仂于亳;
亳仍从仂 仍舒亟亳仄亳 仍舒亟亳仄亳仂于亳; 舒-
仍亠于 亳从仂 弌亠仗舒仆仂于亳 (BY)
(73) 舒亠仆仂仂弍仍舒亟舒亠仍: 亠仍仂从亳亶 亞仂-
亟舒于亠仆仆亶 仆亳于亠亳亠 (BY)
(57)
丕仂亶于仂 亟仍 亢舒亳 仗仍舒亳仆, 仂仂亠亠 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 舒亰仄亠亠仆仆仄 于 仆亠亶
仗仂亟仂亞亠于舒亠仄仄 仂仍仂仄, 亞亠仄亠亳仆仂亶 从从亳 亳 仗亳仂亠亟亳仆亠仆仆 从 舒弍仂亠亶 从舒仄亠亠 弍仂-
仗仂于仂亟舒仄亳 仄舒仆仂仄亠舒, 于亠仆亳仍亠亶 亳 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒, 仂仍亳舒ﾑ亠亠 亠仄, 仂 亠仆舒仍-
仆舒 舒 从从亳 于仗仂仍仆亠仆舒 亳亰 仗亞仂亞仂 亠仄仂仂亶从仂亞仂 仄舒亠亳舒仍舒.
(56)
1. Advanced wafer bonding cluster systems (仆舒亶亟亠仆仂 于 仆亠仆亠 10.05.2010)
http/www.suss.com/products/Wafer bonding/datasheets/.
2. 舒亶亠仍 ., 仍仆亞 P. 丐亠仆仂仍仂亞亳 仂仆从亳 仗仍亠仆仂从. - M.: 弌仂于亠从仂亠 舒亟亳仂, 1977. - C. 302.
仂仍亠亰仆舒 仄仂亟亠仍 仗亠亳仄亠于亠仆仆仂 仂仆仂亳 从 仂弍仍舒亳 亠仆仂仍仂亞亳亳 仄亳从仂仍亠从仂仆-
仆 仂亶于 亳, 于 舒仆仂亳, 仄仂亢亠 弍 亳仗仂仍亰仂于舒仆舒 仗亳 亳亰亞仂仂于仍亠仆亳亳 仄仆仂亞仂仍仂亶仆
仗仍舒亳仆.
亰于亠仆 仂亶于舒 亟仍 仄亠舒仆亳亠从仂亞仂 亢舒亳 仗仍舒亳仆 [1]. 弌亢舒亳亠 仗仍舒亳仆 仗仂亳亰-
于仂亟亳 仗亳 弍仍亳亢亠仆亳亳 亟于 仗仍仂从亳 亢亠从亳 仗舒仆仂仆仂于. 仆仂于仆仄 仆亠亟仂舒从仂仄 亳
仂亶于 磦仍磳 仆亠仂弍仂亟亳仄仂 亳仗仂仍亰仂于舒仆亳 仗仍舒亳仆 仗仂仂礌仆仂亶 仂仍亳仆 仄舒仍仄
仂从仍仂仆亠仆亳亠仄 仂 仗仍仂从仂仆仂亳. 仍舒亠 仗仍舒亳仆 仆亠仂亟仆仂仂亟仆仂亶 仂仍亳仆仂亶 于仂亰仆亳从舒亠
BY7034U2011.02.28](https://image.slidesharecdn.com/7034-151010220637-lva1-app6892/85/7034-1-320.jpg)
![BY 7034 U 2011.02.28
2
仆亠舒于仆仂仄亠仆仂 舒仗亠亟亠仍亠仆亳 亟舒于仍亠仆亳 仗仂 仗仂于亠仆仂亳 亳 亳仄亠亠 于仂亰仄仂亢仆仂 仂仄亳-
仂于舒仆亳 于 亰舒亰仂亠 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳 亰舒仄从仆 仗仂仍仂亠从 亞舒亰仂于 亳仍亳 亢亳亟从仂亠亶.
舒亳弍仂仍亠亠 弍仍亳亰从亳仄 仗仂 从仂仆从亳亳 亳 仗亳仆亳仗 亟亠亶于亳 从 亰舒磦仍磳仄仂仄 仂亶于
磦仍磳 仆亳于亠舒仍仆亶 于舒从仄仆亶 仗仂 [2], 仂仂亳亶 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 舒亰仄亠亠仆-
仆仄 于 仆亠亶 仗仂亟仂亞亠于舒亠仄仄 仂仍仂仄, 亢亠从仂亶 亞亠仄亠亳仆仂亶 从从亳 (亳亰亞仂舒于仍亳于舒亠仄仂亶 亳亰
仂仍仂亶 舒仍亳 亳仍亳 亠从仍舒) 亳 仂亠亟亳仆亠仆仆 舒弍仂亠亶 从舒仄亠仂亶 弍仂仗仂于仂亟舒仄亳 仄舒仆仂仄亠舒,
于亠仆亳仍亠亶 亳 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒. 丕仂亶于仂 仗仂亰于仂仍磳 仗仂仍仆仂 亟舒仍 亢亳亟从仂亳 亳 亞舒亰
亳亰 亰舒亰仂舒 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳. 仆仂于仆仄 仆亠亟仂舒从仂仄 亟舒仆仆仂亞仂 仂亶于舒 磦仍磳 仄舒仍仂亠
亟舒于仍亠仆亳亠 亢舒亳 仗仍舒亳仆, 仂亰亟舒于舒亠仄仂亠 亳仍舒仄亳 亞舒于亳舒亳亳. 亠仂仄舒亳亳 从从亳 于舒从仄-
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亳舒ﾑ 仗仂弍仂仆仄 于亠亟仆仄 磦仍亠仆亳亠仄.
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亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳.
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亟亠亢舒亠亞仂 亞舒亰仂于 亳 亢亳亟从仂仆 仗仂仍仂亠从 仄亠亢亟 仂亠亟亳仆磳仄仄亳 仗仂于亠仆仂礆亳.
仂舒于仍亠仆仆舒 亰舒亟舒舒 亠舒亠 亠仄, 仂 于 仂亶于亠 亟仍 亢舒亳 仗仍舒亳仆, 仂仂亠仄
亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 舒亰仄亠亠仆仆仄 于 仆亠亶 仗仂亟仂亞亠于舒亠仄仄 仂仍仂仄, 亞亠仄亠亳仆仂亶 从从亳 亳
仗亳仂亠亟亳仆亠仆仆 从 舒弍仂亠亶 从舒仄亠亠 弍仂仗仂于仂亟舒仄亳 于亠仆亳仍亠亶, 仄舒仆仂仄亠舒 亳 于舒从仄仆仂亞仂
仆舒仂舒, 亠仆舒仍仆舒 舒 从从亳 于仗仂仍仆亠仆舒 亳亰 仗亞仂亞仂 亠仄仂仂亶从仂亞仂 仄舒亠亳舒仍舒.
丐亠仆亳亠从亳亶 亠亰仍舒 亟仂亳亞舒亠 亰舒 亠 仂亞仂, 仂 仆舒 舒仗亠 仗仂亞亠于舒 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆
亢亳亟从亳亠 从仂仄仗仂仆亠仆 仗亠亠于仂亟 于 亞舒亰仂仂弍舒亰仆仂亠 仂仂礌亳亠. 仗仂亠亠 仂从舒从亳 亞舒亰仂于 亳亰
舒弍仂亠亶 从舒仄亠 仗亞舒 舒 从从亳 亟亠仂仄亳亠 亳 亢亳仄舒亠 仗仍舒亳仆 仗仂仍亠亟仂于舒-
亠仍仆仂 仂 亠仆舒 从 从舒礆. 亟仆仂于亠仄亠仆仆仂 仄亠舒仆亳亠从亳仄 亢舒亳亠仄 仗仂亳仂亟亳 仂从舒从舒
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于亠仄亠仆亠仄 仂从舒从亳. 仂 亟仂亳亢亠仆亳亳 仗亠亟亠仍仆仂亞仂 于舒从仄舒 于 舒弍仂亠亶 从舒仄亠亠 亟舒于仍亠仆亳亠 舒于-
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仂仍亳舒ﾑ亳 仂 亳亟亠舒仍仆仂亶 仗仍仂从仂亳 仆舒 于亠仍亳亳仆, 舒于仆 仗亠亟亠仍 仗亞仂亶 亟亠仂仄舒-
亳亳 仄舒亠亳舒仍舒 仗仍舒亳仆, 于仂亰舒舒亠 仗仍仂舒亟 仂仗亳从仂仆仂于亠仆亳 仂亠亟亳仆磳仄 仗仂于亠仆仂-
亠亶, 亳从仍ﾑ舒亠 仆舒仍亳亳亠 于 亰舒亰仂亠 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳 亰舒仄从仆 仗仂仍仂亠从 亞舒亰仂于 亳
亢亳亟从仂亠亶.
弌仆仂 仗仂仍亠亰仆仂亶 仄仂亟亠仍亳 仗仂仆磳 亠亠亢仂仄.
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2, 亞亠仄亠亳仆 从从 3 仗亞仂亶 亠仄仂仂亶从仂亶 仗仍舒亳仆仂亶 4, 仄舒仆仂仄亠 5, 于亠仆亳仍亳 6 亳 7
亳 于舒从仄仆亶 仆舒仂 8, 仂亠亟亳仆亠仆仆亠 舒弍仂亠亶 从舒仄亠仂亶 弍仂仗仂于仂亟仂仄 9.
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舒从亠 仗仍舒亳仆 10 亠亠亰 从从 3 仗仂仄亠舒ﾑ 于 舒弍仂 从舒仄亠 1 仆舒 仂仍 2. 舒从于舒ﾑ
从从 3. 仂亳亰于仂亟 仆舒亞亠于 仗舒从亠舒 亟仂 亠仄仗亠舒 150-200 属弌, 仂从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6 亳
仗仂亳亰于仂亟 仂从舒从 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 仗仂仄仂 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒 8, 从仂仆仂仍亳 亟舒于仍亠-
仆亳亠 仗仂 仄舒仆仂仄亠 5. 丕仗亞舒 亠仄仂仂亶从舒 仗仍舒亳仆舒 4, 亟亠仂仄亳 于仆 于舒从仄仆仂亞仂
仂弍亠仄舒, 仂从舒亰于舒亠 亟舒于仍亠仆亳亠 仆舒 仗舒从亠 仗仍舒亳仆 仗仂仍亠亟仂于舒亠仍仆仂, 仆舒亳仆舒 仂 亠仆舒 从 从舒礆, 亳
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从舒仄亠. 从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 于亞亰从 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠.
亳仄亠 亠舒仍亳亰舒亳亳 仗仂亠舒 亢舒亳 仗仍舒亳仆 仗仂仄仂 亰舒磦仍磳仄仂亞仂 仂亶于舒.
亳仄亠 1.
舒从亠 仗仍舒亳仆 从亠仄仆亳 亠亠亰 从从 3 仗亞仂亶 仗仍舒亳仆仂亶 4, 亳亰亞仂仂于仍亠仆仆仂亶 亳亰 于亳-
仂仆舒- (仂亳亶 于亳仆亳仍亳亟亠仆/亞亠从舒仂仗仂仗亳仍亠仆 仂亞仍舒仆仂 弌丐 8752-79), 仂仍亳仆仂亶
4 仄仄 仗仂仄亠舒ﾑ 于 舒弍仂 从舒仄亠 1 仆舒 仂仍 2. 舒从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 仆舒亞亠于
仗舒从亠舒 亟仂 亠仄仗亠舒 150 属弌. 亟亠亢亳于舒ﾑ 仗舒从亠 仗亳 仂亶 亠仄仗亠舒亠 100 亠从仆亟. -](https://image.slidesharecdn.com/7034-151010220637-lva1-app6892/85/7034-2-320.jpg)
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- 1. (19) BY (11) 7034 (13) U (46) 2011.02.28 (51) (2009) B 32B 37/10 弌 丐丐丕 (12) 弌丕 丕弌亂 丶亂乘 丶丐 丐丐丕亂 弌弌丐弌丐 (54) 丕弌丐弌丐 亊 弌丐亊 弌丐 (21) 仂仄亠 亰舒磦从亳: u 20100635 (22) 2010.07.14 (71) 舒磦亳亠仍: 亠仍仂从亳亶 亞仂亟舒- 于亠仆仆亶 仆亳于亠亳亠 (BY) (72) 于仂: 仂仄舒仂于 个舒亟亠亶 个舒亟亠亠于亳; 亳仍从仂 仍舒亟亳仄亳 仍舒亟亳仄亳仂于亳; 亳仍从仂 仍舒亟亳仄亳 仍舒亟亳仄亳仂于亳; 舒- 仍亠于 亳从仂 弌亠仗舒仆仂于亳 (BY) (73) 舒亠仆仂仂弍仍舒亟舒亠仍: 亠仍仂从亳亶 亞仂- 亟舒于亠仆仆亶 仆亳于亠亳亠 (BY) (57) 丕仂亶于仂 亟仍 亢舒亳 仗仍舒亳仆, 仂仂亠亠 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 舒亰仄亠亠仆仆仄 于 仆亠亶 仗仂亟仂亞亠于舒亠仄仄 仂仍仂仄, 亞亠仄亠亳仆仂亶 从从亳 亳 仗亳仂亠亟亳仆亠仆仆 从 舒弍仂亠亶 从舒仄亠亠 弍仂- 仗仂于仂亟舒仄亳 仄舒仆仂仄亠舒, 于亠仆亳仍亠亶 亳 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒, 仂仍亳舒ﾑ亠亠 亠仄, 仂 亠仆舒仍- 仆舒 舒 从从亳 于仗仂仍仆亠仆舒 亳亰 仗亞仂亞仂 亠仄仂仂亶从仂亞仂 仄舒亠亳舒仍舒. (56) 1. Advanced wafer bonding cluster systems (仆舒亶亟亠仆仂 于 仆亠仆亠 10.05.2010) http/www.suss.com/products/Wafer bonding/datasheets/. 2. 舒亶亠仍 ., 仍仆亞 P. 丐亠仆仂仍仂亞亳 仂仆从亳 仗仍亠仆仂从. - M.: 弌仂于亠从仂亠 舒亟亳仂, 1977. - C. 302. 仂仍亠亰仆舒 仄仂亟亠仍 仗亠亳仄亠于亠仆仆仂 仂仆仂亳 从 仂弍仍舒亳 亠仆仂仍仂亞亳亳 仄亳从仂仍亠从仂仆- 仆 仂亶于 亳, 于 舒仆仂亳, 仄仂亢亠 弍 亳仗仂仍亰仂于舒仆舒 仗亳 亳亰亞仂仂于仍亠仆亳亳 仄仆仂亞仂仍仂亶仆 仗仍舒亳仆. 亰于亠仆 仂亶于舒 亟仍 仄亠舒仆亳亠从仂亞仂 亢舒亳 仗仍舒亳仆 [1]. 弌亢舒亳亠 仗仍舒亳仆 仗仂亳亰- 于仂亟亳 仗亳 弍仍亳亢亠仆亳亳 亟于 仗仍仂从亳 亢亠从亳 仗舒仆仂仆仂于. 仆仂于仆仄 仆亠亟仂舒从仂仄 亳 仂亶于 磦仍磳 仆亠仂弍仂亟亳仄仂 亳仗仂仍亰仂于舒仆亳 仗仍舒亳仆 仗仂仂礌仆仂亶 仂仍亳仆 仄舒仍仄 仂从仍仂仆亠仆亳亠仄 仂 仗仍仂从仂仆仂亳. 仍舒亠 仗仍舒亳仆 仆亠仂亟仆仂仂亟仆仂亶 仂仍亳仆仂亶 于仂亰仆亳从舒亠 BY7034U2011.02.28
- 2. BY 7034 U 2011.02.28 2 仆亠舒于仆仂仄亠仆仂 舒仗亠亟亠仍亠仆亳 亟舒于仍亠仆亳 仗仂 仗仂于亠仆仂亳 亳 亳仄亠亠 于仂亰仄仂亢仆仂 仂仄亳- 仂于舒仆亳 于 亰舒亰仂亠 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳 亰舒仄从仆 仗仂仍仂亠从 亞舒亰仂于 亳仍亳 亢亳亟从仂亠亶. 舒亳弍仂仍亠亠 弍仍亳亰从亳仄 仗仂 从仂仆从亳亳 亳 仗亳仆亳仗 亟亠亶于亳 从 亰舒磦仍磳仄仂仄 仂亶于 磦仍磳 仆亳于亠舒仍仆亶 于舒从仄仆亶 仗仂 [2], 仂仂亳亶 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 舒亰仄亠亠仆- 仆仄 于 仆亠亶 仗仂亟仂亞亠于舒亠仄仄 仂仍仂仄, 亢亠从仂亶 亞亠仄亠亳仆仂亶 从从亳 (亳亰亞仂舒于仍亳于舒亠仄仂亶 亳亰 仂仍仂亶 舒仍亳 亳仍亳 亠从仍舒) 亳 仂亠亟亳仆亠仆仆 舒弍仂亠亶 从舒仄亠仂亶 弍仂仗仂于仂亟舒仄亳 仄舒仆仂仄亠舒, 于亠仆亳仍亠亶 亳 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒. 丕仂亶于仂 仗仂亰于仂仍磳 仗仂仍仆仂 亟舒仍 亢亳亟从仂亳 亳 亞舒亰 亳亰 亰舒亰仂舒 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳. 仆仂于仆仄 仆亠亟仂舒从仂仄 亟舒仆仆仂亞仂 仂亶于舒 磦仍磳 仄舒仍仂亠 亟舒于仍亠仆亳亠 亢舒亳 仗仍舒亳仆, 仂亰亟舒于舒亠仄仂亠 亳仍舒仄亳 亞舒于亳舒亳亳. 亠仂仄舒亳亳 从从亳 于舒从仄- 仆仂亞仂 仂弍亠仄舒 仗仂亟 亟亠亶于亳亠仄 亳仍 舒仄仂亠仆仂亞仂 亟舒于仍亠仆亳 仗亳 仂仄 仆亳从舒从 仆亠 亳仗仂仍亰ﾑ 亳 亳舒ﾑ 仗仂弍仂仆仄 于亠亟仆仄 磦仍亠仆亳亠仄. 舒磦仍磳仄仂亠 仂亶于仂 仗亠亟仆舒亰仆舒亠仆仂 亟仍 亰舒从仂仆仂仄亠仆仂亞仂 亢舒亳 舒亰仂亞亠 仗仍舒亳仆 从仂仆仂仍亳亠仄仄 亳仍亳亠仄 仗亳 仂亟仆仂于亠仄亠仆仆仂仄 亟舒仍亠仆亳亳 亞舒亰仂于 亳 亢亳亟从仂亠亶 亳亰 亰舒亰仂舒 仄亠- 亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳. 舒亟舒亠亶 仗亠亟仍舒亞舒亠仄仂亶 仗仂仍亠亰仆仂亶 仄仂亟亠仍亳 磦仍磳 仍亠仆亳亠 从舒亠于舒 仂亠亟亳仆亠仆亳 仗仍舒- 亳仆, 仂亰亟舒仆亳亠 仗仍仂仆仂亞仂 仗舒从亠舒 亳亰 从仂仆舒从亳ﾑ亳 仗仂 于亠亶 仗仂于亠仆仂亳 仗仍舒亳仆, 仆亠 仂- 亟亠亢舒亠亞仂 亞舒亰仂于 亳 亢亳亟从仂仆 仗仂仍仂亠从 仄亠亢亟 仂亠亟亳仆磳仄仄亳 仗仂于亠仆仂礆亳. 仂舒于仍亠仆仆舒 亰舒亟舒舒 亠舒亠 亠仄, 仂 于 仂亶于亠 亟仍 亢舒亳 仗仍舒亳仆, 仂仂亠仄 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 舒亰仄亠亠仆仆仄 于 仆亠亶 仗仂亟仂亞亠于舒亠仄仄 仂仍仂仄, 亞亠仄亠亳仆仂亶 从从亳 亳 仗亳仂亠亟亳仆亠仆仆 从 舒弍仂亠亶 从舒仄亠亠 弍仂仗仂于仂亟舒仄亳 于亠仆亳仍亠亶, 仄舒仆仂仄亠舒 亳 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒, 亠仆舒仍仆舒 舒 从从亳 于仗仂仍仆亠仆舒 亳亰 仗亞仂亞仂 亠仄仂仂亶从仂亞仂 仄舒亠亳舒仍舒. 丐亠仆亳亠从亳亶 亠亰仍舒 亟仂亳亞舒亠 亰舒 亠 仂亞仂, 仂 仆舒 舒仗亠 仗仂亞亠于舒 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 亢亳亟从亳亠 从仂仄仗仂仆亠仆 仗亠亠于仂亟 于 亞舒亰仂仂弍舒亰仆仂亠 仂仂礌亳亠. 仗仂亠亠 仂从舒从亳 亞舒亰仂于 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 仗亞舒 舒 从从亳 亟亠仂仄亳亠 亳 亢亳仄舒亠 仗仍舒亳仆 仗仂仍亠亟仂于舒- 亠仍仆仂 仂 亠仆舒 从 从舒礆. 亟仆仂于亠仄亠仆仆仂 仄亠舒仆亳亠从亳仄 亢舒亳亠仄 仗仂亳仂亟亳 仂从舒从舒 亞舒亰仂于 亳亰 亰舒亰仂舒 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳. 舒于仍亠仆亳亠 仆舒 于亠仆ﾑ 仗仍舒亳仆 仄仂亢亠 亠亞仍亳仂于舒 于亠仄亠仆亠仄 仂从舒从亳. 仂 亟仂亳亢亠仆亳亳 仗亠亟亠仍仆仂亞仂 于舒从仄舒 于 舒弍仂亠亶 从舒仄亠亠 亟舒于仍亠仆亳亠 舒于- 仆仂仄亠仆仂 舒仗亠亟亠仍亠仆仂 仗仂 仗仂于亠仆仂亳 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 亳 舒于仆仂 舒仄仂亠仆仂仄. 亠亰仍舒亠 仗亳仄亠仆亠仆亳 仂亶于舒 舒仆仂于亳 于仂亰仄仂亢仆仄 亳仗仂仍亰仂于舒仆亳亠 仗仍舒亳仆, 仂仍亳舒ﾑ亳 仂 亳亟亠舒仍仆仂亶 仗仍仂从仂亳 仆舒 于亠仍亳亳仆, 舒于仆 仗亠亟亠仍 仗亞仂亶 亟亠仂仄舒- 亳亳 仄舒亠亳舒仍舒 仗仍舒亳仆, 于仂亰舒舒亠 仗仍仂舒亟 仂仗亳从仂仆仂于亠仆亳 仂亠亟亳仆磳仄 仗仂于亠仆仂- 亠亶, 亳从仍ﾑ舒亠 仆舒仍亳亳亠 于 亰舒亰仂亠 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳 亰舒仄从仆 仗仂仍仂亠从 亞舒亰仂于 亳 亢亳亟从仂亠亶. 弌仆仂 仗仂仍亠亰仆仂亶 仄仂亟亠仍亳 仗仂仆磳 亠亠亢仂仄. 丕仂亶于仂 于从仍ﾑ舒亠 舒弍仂 从舒仄亠 1 舒亰仄亠亠仆仆仄 于 仆亠亶 仗仂亟仂亞亠于舒亠仄仄 仂仍仂仄 2, 亞亠仄亠亳仆 从从 3 仗亞仂亶 亠仄仂仂亶从仂亶 仗仍舒亳仆仂亶 4, 仄舒仆仂仄亠 5, 于亠仆亳仍亳 6 亳 7 亳 于舒从仄仆亶 仆舒仂 8, 仂亠亟亳仆亠仆仆亠 舒弍仂亠亶 从舒仄亠仂亶 弍仂仗仂于仂亟仂仄 9. 丕仂亶于仂 舒弍仂舒亠 仍亠亟ﾑ亳仄 仂弍舒亰仂仄. 舒从亠 仗仍舒亳仆 10 亠亠亰 从从 3 仗仂仄亠舒ﾑ 于 舒弍仂 从舒仄亠 1 仆舒 仂仍 2. 舒从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 仆舒亞亠于 仗舒从亠舒 亟仂 亠仄仗亠舒 150-200 属弌, 仂从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6 亳 仗仂亳亰于仂亟 仂从舒从 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 仗仂仄仂 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒 8, 从仂仆仂仍亳 亟舒于仍亠- 仆亳亠 仗仂 仄舒仆仂仄亠 5. 丕仗亞舒 亠仄仂仂亶从舒 仗仍舒亳仆舒 4, 亟亠仂仄亳 于仆 于舒从仄仆仂亞仂 仂弍亠仄舒, 仂从舒亰于舒亠 亟舒于仍亠仆亳亠 仆舒 仗舒从亠 仗仍舒亳仆 仗仂仍亠亟仂于舒亠仍仆仂, 仆舒亳仆舒 仂 亠仆舒 从 从舒礆, 亳 亢亳仄舒亠 亠亞仂. 舒从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6. 从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 7 亳 仆舒仗从舒ﾑ 于仂亰亟 于 舒弍仂 从舒仄亠. 从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 于亞亰从 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠. 亳仄亠 亠舒仍亳亰舒亳亳 仗仂亠舒 亢舒亳 仗仍舒亳仆 仗仂仄仂 亰舒磦仍磳仄仂亞仂 仂亶于舒. 亳仄亠 1. 舒从亠 仗仍舒亳仆 从亠仄仆亳 亠亠亰 从从 3 仗亞仂亶 仗仍舒亳仆仂亶 4, 亳亰亞仂仂于仍亠仆仆仂亶 亳亰 于亳- 仂仆舒- (仂亳亶 于亳仆亳仍亳亟亠仆/亞亠从舒仂仗仂仗亳仍亠仆 仂亞仍舒仆仂 弌丐 8752-79), 仂仍亳仆仂亶 4 仄仄 仗仂仄亠舒ﾑ 于 舒弍仂 从舒仄亠 1 仆舒 仂仍 2. 舒从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 仆舒亞亠于 仗舒从亠舒 亟仂 亠仄仗亠舒 150 属弌. 亟亠亢亳于舒ﾑ 仗舒从亠 仗亳 仂亶 亠仄仗亠舒亠 100 亠从仆亟. -
- 3. BY 7034 U 2011.02.28 3 从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6 亳 仗仂亳亰于仂亟 仂从舒从 亞舒亰仂于 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 仗仂仄仂 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒 8, 从仂仆仂仍亳 亟舒于仍亠仆亳亠 仗仂 仄舒仆仂仄亠 5. 仂 亟仂亳亢亠仆亳亳 亟舒于仍亠仆亳 1 舒 亰舒从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6. 从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 7 亳 仆舒仗从舒ﾑ 于仂亰亟 于 舒弍仂 从舒仄亠. 从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 于亞亰从 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠. 亳仄亠 2. 舒从亠 仗仍舒亳仆 从于舒亠于仂亞仂 亠从仍舒 亠亠亰 从从 3 仂仆从仂亶 仗亞仂亶 仗仍舒亳仆仂亶 4, 亳亰亞仂- 仂于仍亠仆仆仂亶 亳亰 仂仂仗仍舒舒-4 (仗仂仍亳亠舒仂亳仍亠仆, 弌丐 10007-80), 仂仍亳仆仂亶 2 仄仄 仗仂- 仄亠舒ﾑ 于 舒弍仂 从舒仄亠 1 仆舒 仂仍 2. 舒从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 仆舒亞亠于 仗舒从亠舒 亟仂 亠仄仗亠舒 200 属弌. 亟亠亢亳于舒ﾑ 仗舒从亠 仗亳 仂亶 亠仄仗亠舒亠 500 亠从仆亟. 从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6 亳 仗仂亳亰于仂亟 仂从舒从 亞舒亰仂于 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 仗仂仄仂 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒 8, 从仂仆仂仍亳 亟舒于仍亠仆亳亠 仗仂 仄舒仆仂仄亠 5. 仂 亟仂亳亢亠仆亳亳 亟舒于仍亠仆亳 0,5 舒 亰舒从于舒ﾑ 于亠仆- 亳仍 6. 从仍ﾑ舒ﾑ 仆舒亞亠于 仂仍舒. 丼亠亠亰 600 亠从仆亟 仂从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 7 亳 仆舒仗从舒ﾑ 于仂亰- 亟 于 舒弍仂 从舒仄亠. 从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 于亞亰从 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠. 亳仄亠 3. 舒从亠 仗仍舒亳仆 亳舒仍仍舒 弌丐-50 亠亠亰 从从 3 仂仆从仂亶 仗亞仂亶 仗仍舒亳仆仂亶 4, 亳亰亞仂仂于- 仍亠仆仆仂亶 亳亰 仆亠亢舒于亠ﾑ亠亶 舒仍亳 12丱189丐 (弌丐 5632-72), 仂仍亳仆仂亶 0,2 仄仄 仗仂仄亠舒ﾑ 于 舒弍仂 从舒仄亠 1 仆舒 仂仍 2. 舒从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 仆舒亞亠于 仗舒从亠舒 亟仂 亠仄仗亠舒- 170 属弌. 亟亠亢亳于舒ﾑ 仗舒从亠 仗亳 仂亶 亠仄仗亠舒亠 300 亠从仆亟. 从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6 亳 仗仂亳亰于仂亟 仂从舒从 亞舒亰仂于 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠 仗仂仄仂 于舒从仄仆仂亞仂 仆舒仂舒 8, 从仂仆仂- 仍亳 亟舒于仍亠仆亳亠 仗仂 仄舒仆仂仄亠 5. 仂 亟仂亳亢亠仆亳亳 亟舒于仍亠仆亳 0,5 舒 亰舒从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 6. 从仍ﾑ舒ﾑ 仆舒亞亠于 仂仍舒. 丼亠亠亰 600 亠从仆亟 仂从于舒ﾑ 于亠仆亳仍 7 亳 仆舒仗从舒ﾑ 于仂亰亟 于 舒弍仂 从舒仄亠. 从于舒ﾑ 从从 3. 仂亳亰于仂亟 于亞亰从 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 亳亰 舒弍仂亠亶 从舒仄亠. 丐舒从亳仄 仂弍舒亰仂仄, 亳仗仂仍亰仂于舒仆亳亠 亰舒磦仍磳仄仂亞仂 仂亶于舒 仗仂亰于仂仍磳 仂亠于亳 亢舒亳亠 舒亰仂亞亠 仗仂于亠仆仂亠亶 仗仍舒亳仆 仗亳 仂亟仆仂于亠仄亠仆仆仂仄 亟舒仍亠仆亳亳 亢亳亟从仂亠亶 亳 亞舒亰仂于 亳亰 亰舒- 亰仂舒 仄亠亢亟 仗仍舒亳仆舒仄亳 亳 仂亠于亳 从仂仆舒从 仗仂于亠仆仂亠亶, 弍仍亳亰从亳亶 从 亳亟亠舒仍仆仂仄. 仗- 亳亠从亳亠 亳亰仄亠亠仆亳, 仗仂于亠亟亠仆仆亠 仆舒 仗舒从亠舒 仗仍舒亳仆 从亠仄仆亳 "仆舒 仗仂于亠" 于 亳仆舒从舒仆仂仄 亟亳舒仗舒亰仂仆亠 亟仍亳仆 于仂仍仆, 仗仂从舒亰舒仍亳 仗仂仍仆仂亠 仂于亳亠 仆亠仗仍仂仆仂亠亶 亳 亰舒亞磶- 仆亠仆亳亶 于仆亳 仂仄亳仂于舒仆仆 仗舒从亠仂于. 舒亳仂仆舒仍仆亶 亠仆 亳仆亠仍仍亠从舒仍仆仂亶 仂弍于亠仆仆仂亳. 220034, 亞. 亳仆从, 仍. 仂亰仍仂于舒, 20.