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半导体产业介绍 台灣積體電路製造股份有限公司 / 技術委員會 白峻榮 經理
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半導體產業的供應鍊介紹 ( 上、中、下游 )
半導體產業的供應鍊介紹 主要製程 物理氣相沉積 PVD 化學氣相沉積 CVD 電化學沉積 ECD 薄膜製程 化學機械研磨 CMP 乾式光阻剝除 光阻塗佈烘烤顯影 曝光 微影製程 蝕刻製程 乾式 蝕刻 氧化擴散處理 快速升溫處理 關鍵尺寸量測 缺陷量測 薄膜量測 擴散製程 製程檢測 自動化及週邊 離子佈植 濕式批次清洗蝕刻 溼式單晶圓清洗蝕刻 AMAT Novellus TEL DNS ASML Nikon Canon Lam TEL AMAT Mattson Novellus AMAT Ebara AMAT Mattson TEL ASM DNS SEZ TEL KLA-Tencor Hitachi High Tech. Brooks Asyst Daifuku 封裝 / 測試 Advantest Teradyne Tokyo Seimitsu Varian Categorized by Tool Supplier
半導體產業的供應鍊介紹 耗材及關鍵零組件 啟成 / 純化 宇富 / 晟鼎 丸正 崇越 / 台南 圓益 / 中國 聯合 中砂 / 瑞耘 啟成 / 千得 羅門哈斯 億尚 家登 上品 旺矽 經測 飛鼎 漢鐘 / 黑威 成泰 / 東元 台禹科機 旭福 上品 翔名 / 豪晶 北儒 / 千附 華立 / 陶瓷零件 石英零件 全氟橡膠 CMP 組件 管件濾材 線性滑座組件 其他 工程塑膠零件 腔體金屬組件 探針卡 周邊設備 真空關鍵組件 麥封 / 丸正 晶昇 / 宏誠 沛鑫 / 慶康 帆宣 / 公準 榮眾 / 丸正 沛鑫 / 日揚 富創得 啟成 大銀 國際 後段封測設備 弘塑 / 嵩展 聯萌 / 瑞耘 富臨 博磊 均豪 優力特 凸塊製程 黏晶 分離成型 植球 點膠 光學檢查 切割 研磨 封膠 電性 測試 打印取放 焊線 晶圓探測 均豪 基丞 威控 均豪 新美化 均豪 基丞 萬潤 竑騰 均豪 基丞 七憶 乘遠 / 詳維 由田新技 基丞 致茂 德律 均豪 台灣暹勁 鈦昇 威控 七憶
半導體產業的供應鍊介紹 前段晶圓設備 ( 含代工 ) 清洗 離子 佈植 蝕刻 / 去光阻 烘烤 / 擴散 瑕疵檢測 自動化 / 週邊 薄膜沉積 沛鑫 / 慶康 帆宣 / 公準 榮眾 曝光 帆宣 / 上銀 均豪 沛鑫 / 辛耘 志聖 / 英誌 化學機械研磨 亞泰 / 瑞耘 漢辰 志聖 / 弗侖斯 弘塑 / 辛耘 漢民微測 沛鑫 / 富創得 盟立 / 高橋 台朔重工 黏晶 濺鍍 曝光 顯影 / 清洗 / 蝕刻 晶片 切割 晶圓封裝  (Wafer level)  製程 測試 取放 晶圓 點測 晶片封裝  (Die level) 製程 檢測 均豪 ( 威控 ) 博磊 優力特 ( 禾宇 ) 弘塑 辛耘 嵩展 瑞耘 力鼎   ( 富臨 ) ( 台中精機 ) ( 中華聯合 ) 詳維 . 基丞 ( 澄晶 ) ( 科毅 ) 致茂 ( 萬潤 ,  竑騰 ) ( 旺矽 ) ( 威控 ) Stud/TAB 黏晶 焊線 封膠 植球 / 點膠 雷射 刻印 分離 封裝 檢查 覆晶 黏晶 其他 ( 均豪 )( 旺矽 ) ( 威控 ) 萬潤 . 均豪 竑騰 .. 鈦昇 鈦昇 . 均豪 格瑞 . 盛技 鈦昇 . 均豪 基丞 . 鉅基 ( 均豪 ) ( 新美化 ) ( 威控 ) 乘遠 . 詳維 牧德 . 基丞 由田新技 Handler Laser Head 豪晶 均豪 . 旺矽 ( 威控 ) 均豪 ( 基丞 ) 志聖 . 均豪 元利盛 後段 封裝測試 製程
tsmc  價值鏈 客戶 核心能力 系統 產品  設計 光罩 台積公司 核心能力 設計服務 後端服務 智財權 (IP)/ 資料庫 (Library) 電子設計自動化 (EDA ) 設計執行 技術 製造 錫鉛凸塊 (Bumping ) 覆晶 (Flip Chip) 晶圓測試 總測試
Fab 10 TSMC Headquarters  & Fab 2, 3, 5, 8, 12 Fab 6 & 14 TSMC North America WaferTech TSMC Europe TSMC Japan SSMC TSMC China TSMC India TSMC Korea TSMC Worldwide Operations & Affiliates
Why 6” ? 8” ? 12” ?
傳統的整合晶圓製造公司  (IDM)  減少自有晶圓廠的投資  (Fab-lite) , 提高委外代工製造的比重已成發展趨勢。 半導體產業之發展趨勢 台积电 TI, Intel TI, Intel 日月光、矽品 日月光、矽品 台积电 矽統 聯發科 ,  威盛 nVidia 創意、智原 TI, Intel
製程技術開發時程 v.s. 世界趨勢
半导体产业职务需求排名及专业技能需求
半导体产业人才需求
參考書單 半導體製造技術  羅文雄 譯  滄海出版社 半導體元件物理與製作技術  施敏  高立出版社 積體電路製程及設備技術手冊  張俊彥  主編  中華民國產業科技發展協進會 Silicon Processing for VLSI Era  Volume I  Stanley Wolf  ISBN 0-9616721-3-7 世界是平的  (The world is flat)  湯馬斯 .  佛里曼  雅言出版 台積 DNA  天下出版

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  • 5. 半導體產業的供應鍊介紹 耗材及關鍵零組件 啟成 / 純化 宇富 / 晟鼎 丸正 崇越 / 台南 圓益 / 中國 聯合 中砂 / 瑞耘 啟成 / 千得 羅門哈斯 億尚 家登 上品 旺矽 經測 飛鼎 漢鐘 / 黑威 成泰 / 東元 台禹科機 旭福 上品 翔名 / 豪晶 北儒 / 千附 華立 / 陶瓷零件 石英零件 全氟橡膠 CMP 組件 管件濾材 線性滑座組件 其他 工程塑膠零件 腔體金屬組件 探針卡 周邊設備 真空關鍵組件 麥封 / 丸正 晶昇 / 宏誠 沛鑫 / 慶康 帆宣 / 公準 榮眾 / 丸正 沛鑫 / 日揚 富創得 啟成 大銀 國際 後段封測設備 弘塑 / 嵩展 聯萌 / 瑞耘 富臨 博磊 均豪 優力特 凸塊製程 黏晶 分離成型 植球 點膠 光學檢查 切割 研磨 封膠 電性 測試 打印取放 焊線 晶圓探測 均豪 基丞 威控 均豪 新美化 均豪 基丞 萬潤 竑騰 均豪 基丞 七憶 乘遠 / 詳維 由田新技 基丞 致茂 德律 均豪 台灣暹勁 鈦昇 威控 七憶
  • 6. 半導體產業的供應鍊介紹 前段晶圓設備 ( 含代工 ) 清洗 離子 佈植 蝕刻 / 去光阻 烘烤 / 擴散 瑕疵檢測 自動化 / 週邊 薄膜沉積 沛鑫 / 慶康 帆宣 / 公準 榮眾 曝光 帆宣 / 上銀 均豪 沛鑫 / 辛耘 志聖 / 英誌 化學機械研磨 亞泰 / 瑞耘 漢辰 志聖 / 弗侖斯 弘塑 / 辛耘 漢民微測 沛鑫 / 富創得 盟立 / 高橋 台朔重工 黏晶 濺鍍 曝光 顯影 / 清洗 / 蝕刻 晶片 切割 晶圓封裝 (Wafer level) 製程 測試 取放 晶圓 點測 晶片封裝 (Die level) 製程 檢測 均豪 ( 威控 ) 博磊 優力特 ( 禾宇 ) 弘塑 辛耘 嵩展 瑞耘 力鼎 ( 富臨 ) ( 台中精機 ) ( 中華聯合 ) 詳維 . 基丞 ( 澄晶 ) ( 科毅 ) 致茂 ( 萬潤 , 竑騰 ) ( 旺矽 ) ( 威控 ) Stud/TAB 黏晶 焊線 封膠 植球 / 點膠 雷射 刻印 分離 封裝 檢查 覆晶 黏晶 其他 ( 均豪 )( 旺矽 ) ( 威控 ) 萬潤 . 均豪 竑騰 .. 鈦昇 鈦昇 . 均豪 格瑞 . 盛技 鈦昇 . 均豪 基丞 . 鉅基 ( 均豪 ) ( 新美化 ) ( 威控 ) 乘遠 . 詳維 牧德 . 基丞 由田新技 Handler Laser Head 豪晶 均豪 . 旺矽 ( 威控 ) 均豪 ( 基丞 ) 志聖 . 均豪 元利盛 後段 封裝測試 製程
  • 7. tsmc 價值鏈 客戶 核心能力 系統 產品 設計 光罩 台積公司 核心能力 設計服務 後端服務 智財權 (IP)/ 資料庫 (Library) 電子設計自動化 (EDA ) 設計執行 技術 製造 錫鉛凸塊 (Bumping ) 覆晶 (Flip Chip) 晶圓測試 總測試
  • 8. Fab 10 TSMC Headquarters & Fab 2, 3, 5, 8, 12 Fab 6 & 14 TSMC North America WaferTech TSMC Europe TSMC Japan SSMC TSMC China TSMC India TSMC Korea TSMC Worldwide Operations & Affiliates
  • 9. Why 6” ? 8” ? 12” ?
  • 10. 傳統的整合晶圓製造公司 (IDM) 減少自有晶圓廠的投資 (Fab-lite) , 提高委外代工製造的比重已成發展趨勢。 半導體產業之發展趨勢 台积电 TI, Intel TI, Intel 日月光、矽品 日月光、矽品 台积电 矽統 聯發科 , 威盛 nVidia 創意、智原 TI, Intel
  • 14. 參考書單 半導體製造技術 羅文雄 譯 滄海出版社 半導體元件物理與製作技術 施敏 高立出版社 積體電路製程及設備技術手冊 張俊彥 主編 中華民國產業科技發展協進會 Silicon Processing for VLSI Era Volume I Stanley Wolf ISBN 0-9616721-3-7 世界是平的 (The world is flat) 湯馬斯 . 佛里曼 雅言出版 台積 DNA 天下出版