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全厂水回收与节约用水
- 1. 工研院 / 能環所 水科技與環境分析技術組 報告人 林文雄 97.03.03 全厂水回收与节约用水 介紹
- 2. 簡報內容 一、本廠基本概況 二、用水現況及現有節水措施 三、初評及現場委員意見追蹤討論結果 四、主要節水潛力評估重點 五、修正及改善後用水平衡圖 六、純水系統造水率及機台分流效能評估 七、單位產品耗水量分析 八、節水潛力評估具體建議方案 ( 現場節水輔導照片 ) 十、結論與建議
- 3. 一、本廠基本概況 建廠日期： 主要產品： TFT-LCD 面板 ( 六代 ) 單位產品耗水量： 0.64 噸自来水 /m 2 、 1.97 噸超純水 /m 2 產能利用率： 67 % 全廠回收率： 82% (>75%) 製程回收率： 88.3% (>=85%) 全廠排放率： 72.4% (<70%) 日用水量 ： 5,537 CMD 已符合管制標準 ( 排放率超出 70% 因流量計異常，調整恢復後約 68%)
- 4. 二、用水現況及現有節水措施 I 用水現況： 3,828CMD 廢水處理排放量 1.97 （噸 /m 2 ） 產品耗水量 ( 超純水 ) 2,500 員工人數 866,091 樓板面積（ m 2 ） 15,000 CMD 廢水處理設計量 0.64 （噸 /m 2 ） 產品耗水量 ( 自来水 ) 72.4 % 全廠排放率 ( <70% ) 420 CMD 純水系統日排水量 82.0 % 全廠回收率 ( >75% ) 86.1 % 純水系統造水率 88.3 % 製程回收率 ( >85% ) 2,582 CMD 純水系統取水量 5,697 RT/hr- 套 冷卻水塔散熱能力 82,680 CMD/ 套 冷卻水塔循環水量 367 CMD/ 套 冷卻水塔補水量 6,000 CMD 原水取水量 自来水 冷卻水塔補水源 自来水 使用水源
- 5. 二、用水現況及現有節水措施 II 現有節水措施： 6. 高 TOC 濃度有機排水回收 (TOC<120mg/L) 5. 低 TOC 濃度無機排水回收 (TOC<1 mg/L) 4. 酸鹼排水回收 (TOC<1mg/L) 3. 製程機台 : 進流連續監控、機台水洗槽高低濃度分流、 Idle 噴水模式調整 2. 空調系統： 冷凝水回收、 C/T Blow Down 導電度控制 1. 純水系統： MMF 逆洗水回收、 ROR 濃縮水回收、儀錶水回收、水封水回收、樹脂塔再生頻率降低
- 6. 叁、初评及现场委员意见讨论结果 已提供 。 請以每平方米面板之用水量作為貴公司耗用水之技術指標。 冷卻水塔以自来水補充對本廠而言為最節省成本之模式 公共系統取自来水 84.3 % 太高 (2,896 CMD/3,389 CMD) 。 冷卻水塔以自来水補充對本廠而言為最節省成本之模式 ， 因此目前之用水比率 , 應屬正常之現象 。 1. 自来水 5,537 CMD -> DI 2,581 CMD 佔 46.6 % ，而公共用水為 2,896 CMD 52.3% ，或有檢討空間，民生用水為 60 CMD ，僅佔 1% 。 製程排放率依園區標準算式應為 11.3% 冷卻水塔排放應為 193m3 ， 冷凝水 10m3 回收用於澆灌 ，目前無流量計，該值為粗估 製程排放率甚低，僅 2 % ，冷卻水塔排水量僅 10 m3 偏低。 LS 現階段無回收系統，以回收水為補充水源。 L/S 有無回收系統？ 本廠高濃度有機化學藥品委託代處理廠商回收。 高濃度有機化學品請考量回收可行性。 追蹤討論結果 初評及現場意見
- 7. 四、主要節水潛力評估重點 用水平衡圖修正 純水系統 / 機台分流效能評估 製程用水減量流程 製程排水回收措施 空調冷凝水回收 冷卻水塔運作管理改善
- 8. 五、修正後用水平衡圖 尚未進行雨水回收 TOC<120 mg/L 有機廢水回收 酸鹼廢水回收 19,639 16,915 540
- 9. 六、改善後用水平衡圖 雨水回收 製程廢水回收 MAU 冷凝水回收
- 10. 七、純水系統造水率及機台分流效能評估 Q1 純水系統 製程用水 Q2 Q3 製程回收管制標準 85% 92% 純水系統效能 Q2/Q1 540 16915 88.3% 3.2% 19639 光電 製程 回收率 製程分流成效 Q3/Q2 單位 (CMD)
- 11. 八、單位產品用水量分析 製程持續進行節水改善，目前單位產品用水量已達 0.64 噸 /m 2 產能利用率約 67%
- 12. 九、節水潛力評估具體建議方案 預計每年節水潛量 4,440CMD 148 345 370 合計 97.3 97.3 97.10 預估執行日期 ( 年月 ) 22 35 75 MAU 冷凝水設置管路將次級用水剩餘量回收至回收系統 MAU 冷凝水回收 60 10 150 部份原排往廢水廠之製程排水，重新改管導回至回收系統 製程排水分流率提高 66 300 145 設置雨水回收設施 雨水回收 年節省 效益 ( 萬元 ) 預估投資改善成本 ( 萬元 ) 可節省或回收水量 (CMD) 建議改善措施 節水潛 力點
- 13. 十、結論與建議 製程酸鹼排水、低濃度 (TOC<120 mg/L) 排水之回收率達 90.1 % ，相關經驗業已與多家同業分享，並安排現場參觀。 本年度具體可行之主要節水潛力點為 雨水回收，每年可節省 1,740 CMD ，回收期約 4.5 年。 MAU 冷凝水回收，每年可節省 900 CMD ，回收期約 1.5 年。 製程排水分流率提高，每年可節省 1,800 CMD ，回收期約 2 個月。